SHW Technologies (Shanghai) Co., Ltd.

矽赫微科技（上海）有限公司

矽赫微科技（上海）有限公司成立于2023年5月，是专注高端半导体晶圆键合设备研发、制造与服务的国际化科创企业。公司由半导体设备领域资深专家联合创立，总部位于上海，在日本设立研发中心，构建全球化研发与供应链体系。

核心团队由对准及量检测专家王笑寒博士、等离子体及键合技术专家长田厚先生等领衔，平均行业经验超20年，技术底蕴深厚。公司自主掌握等离子体活化、晶圆清洗、超高精密晶圆对准、高真空异质键合、超低畸变键合、键合片套刻测量，以及键合能及键合空洞检测等全栈核心技术，核心产品WBX系列晶圆键合设备关键指标达国际先进水平，已实现小批量落地。产品广泛应用于3D NAND、HBM、MicroLED、BSI等3D堆叠应用，以及BSPDN等半导体新兴发展方向，为客户提供设备+工艺+服务的完整解决方案。公司以技术自主为核心，持续突破 “卡脖子” 技术，助力半导体产业链国产化与高质量发展。